How Scanning Electron Microscope Works: Khám Phá Nguyên Lý Hoạt Động Và Ứng Dụng Của SEM

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một thiết bị phân tích hình ảnh với độ phân giải cao, được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực như khoa học vật liệu, sinh học, và công nghệ nano. SEM sử dụng chùm điện tử thay vì ánh sáng để quét bề mặt của mẫu vật, từ đó tạo ra hình ảnh chi tiết với độ phân giải cao.

Nguyên lý hoạt động

SEM hoạt động dựa trên nguyên lý quét một chùm điện tử tập trung lên bề mặt mẫu vật. Khi chùm điện tử tương tác với bề mặt, các tín hiệu được sinh ra và được thu thập để tạo ra hình ảnh. Các tín hiệu này bao gồm:

• Điện tử thứ cấp (Secondary Electrons - SE): Phát ra từ bề mặt mẫu khi bị chùm điện tử tác động. SE cho phép hiển thị hình ảnh bề mặt chi tiết với độ phân giải cao.
• Điện tử tán xạ ngược (Backscattered Electrons - BSE): Là các điện tử bị phản xạ ngược lại do tương tác với nguyên tử trong mẫu. BSE thường được sử dụng để phân tích thành phần nguyên tố vì chúng phản ánh số nguyên tử của mẫu vật.
• Tín hiệu tia X đặc trưng: Khi chùm điện tử tác động lên mẫu, có thể gây ra phát xạ tia X đặc trưng cho các nguyên tố có trong mẫu, giúp xác định thành phần hóa học của mẫu.

Cấu trúc của SEM

Một hệ thống SEM bao gồm các bộ phận chính sau:

1. Súng điện tử: Phát ra chùm điện tử được gia tốc và tập trung thành chùm mảnh.
2. Cuộn từ điều hướng: Điều khiển chùm điện tử quét theo từng đường trên bề mặt mẫu.
3. Buồng chân không: Giữ mẫu và toàn bộ hệ thống trong môi trường chân không để tránh sự tán xạ của điện tử do không khí.
4. Detector: Thu thập các tín hiệu điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược và tín hiệu tia X phát ra từ mẫu.

Ưu điểm của SEM

SEM có nhiều ưu điểm vượt trội, bao gồm:

• Độ phân giải cao: Khả năng phóng đại lên tới hàng trăm nghìn lần, cho phép quan sát cấu trúc chi tiết của mẫu vật.
• Phân tích đa chiều: Không chỉ tạo hình ảnh bề mặt mà còn cung cấp thông tin về thành phần hóa học và cấu trúc 3D của mẫu.
• Tính linh hoạt: Có thể được sử dụng cho nhiều loại mẫu vật khác nhau, từ vật liệu rắn đến sinh học.

Ứng dụng của SEM

SEM được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực như:

• Khoa học vật liệu: Phân tích cấu trúc, tính chất bề mặt của vật liệu.
• Sinh học: Quan sát chi tiết cấu trúc tế bào và vi sinh vật.
• Công nghệ nano: Kiểm tra và phát triển các cấu trúc nano.
• Ngành điện tử: Phân tích hư hỏng, kiểm tra vi cấu trúc của linh kiện.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một thiết bị khoa học hiện đại được sử dụng để quan sát và phân tích chi tiết cấu trúc bề mặt của mẫu vật ở cấp độ vi mô và nano. SEM hoạt động bằng cách sử dụng một chùm điện tử được gia tốc và tập trung vào mẫu vật. Chùm điện tử này tương tác với các nguyên tử trong mẫu, tạo ra các tín hiệu mà từ đó hình ảnh chi tiết của bề mặt mẫu có thể được xây dựng.

Các đặc điểm chính của SEM bao gồm:

• Độ phóng đại cao: SEM có thể phóng đại mẫu lên đến hàng trăm nghìn lần, cho phép quan sát chi tiết cấu trúc bề mặt mà không thể thấy được bằng kính hiển vi quang học thông thường.
• Khả năng phân tích thành phần: Bên cạnh việc tạo ra hình ảnh bề mặt, SEM còn có thể được trang bị thêm các thiết bị phân tích như phổ tia X (EDX) để xác định thành phần hóa học của mẫu vật.
• Hình ảnh ba chiều: SEM có khả năng tạo ra hình ảnh 3D bằng cách quét mẫu từ nhiều góc độ khác nhau, giúp cung cấp cái nhìn toàn diện về cấu trúc của mẫu vật.

SEM được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực khoa học và công nghiệp, từ nghiên cứu vật liệu, sinh học, đến kiểm tra chất lượng trong sản xuất. Khả năng cung cấp hình ảnh chi tiết và phân tích đa dạng khiến SEM trở thành công cụ không thể thiếu trong các phòng thí nghiệm hiện đại.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) hoạt động dựa trên nguyên lý sử dụng chùm điện tử để quét bề mặt mẫu vật, từ đó tạo ra hình ảnh chi tiết của cấu trúc bề mặt ở cấp độ vi mô và nano. Quá trình hoạt động của SEM có thể được tóm tắt theo các bước sau:

1. Phát ra chùm điện tử:

   Một súng điện tử (electron gun) được sử dụng để phát ra các điện tử. Các điện tử này được gia tốc dưới tác động của một điện trường mạnh, tạo ra một chùm điện tử với năng lượng cao.

2. Tập trung và quét chùm điện tử:

   Chùm điện tử sau đó được tập trung lại nhờ hệ thống thấu kính điện từ (electromagnetic lenses) để tạo thành một chùm rất mảnh. Cuộn từ điều hướng (scanning coils) sẽ điều khiển chùm điện tử này quét theo từng đường (scan line) trên bề mặt mẫu vật.

3. Tương tác giữa chùm điện tử và mẫu vật:

   Khi chùm điện tử quét qua bề mặt mẫu, nó tương tác với các nguyên tử trong mẫu. Tương tác này dẫn đến việc phát ra các tín hiệu khác nhau, bao gồm điện tử thứ cấp (secondary electrons), điện tử tán xạ ngược (backscattered electrons), và các bức xạ tia X đặc trưng.

4. Thu thập và xử lý tín hiệu:

   Các tín hiệu phát ra từ mẫu được thu thập bởi các bộ thu tín hiệu (detectors). Mỗi loại tín hiệu mang thông tin khác nhau về bề mặt mẫu. Ví dụ, điện tử thứ cấp cung cấp thông tin chi tiết về hình thái bề mặt, trong khi điện tử tán xạ ngược giúp xác định thành phần nguyên tố của mẫu.

5. Tạo hình ảnh:

   Cuối cùng, các tín hiệu thu thập được chuyển đổi thành hình ảnh bằng cách sử dụng một hệ thống xử lý hình ảnh. Hình ảnh được tạo ra là sự phản ánh chi tiết của cấu trúc bề mặt mẫu, có thể được hiển thị dưới dạng 2D hoặc 3D tùy thuộc vào phương pháp quét và xử lý.

Nhờ vào nguyên lý hoạt động này, SEM có khả năng cung cấp hình ảnh với độ phân giải cao, phân tích thành phần hóa học và thậm chí là tạo ra các mô hình ba chiều của cấu trúc bề mặt mẫu vật.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một thiết bị phức tạp với nhiều bộ phận quan trọng, mỗi bộ phận đóng vai trò thiết yếu trong việc tạo ra hình ảnh chi tiết của mẫu vật. Dưới đây là cấu trúc và chức năng của các bộ phận chính trong SEM:

1. Súng phát điện tử (Electron Gun):

   Súng phát điện tử là nguồn phát ra chùm điện tử, thường được làm từ vonfram hoặc LaB\(_6\). Chùm điện tử được tạo ra có năng lượng cao và được gia tốc bởi điện trường mạnh. Nguồn điện tử càng ổn định, chất lượng hình ảnh thu được càng cao.

2. Hệ thống thấu kính điện từ (Electromagnetic Lenses):

   Hệ thống này bao gồm các thấu kính hội tụ và thấu kính điều chỉnh, có nhiệm vụ tập trung chùm điện tử vào một điểm rất nhỏ trên bề mặt mẫu. Thấu kính điện từ có thể điều chỉnh được để thay đổi độ phóng đại và độ phân giải của hình ảnh.

3. Cuộn từ điều hướng (Scanning Coils):

   Cuộn từ điều hướng kiểm soát hướng di chuyển của chùm điện tử, cho phép nó quét qua toàn bộ bề mặt mẫu vật. Quá trình quét này diễn ra theo từng đường, tạo ra hình ảnh từng phần của mẫu.

4. Buồng chân không (Vacuum Chamber):

   SEM hoạt động trong môi trường chân không cao để ngăn chặn sự tán xạ của điện tử bởi không khí. Buồng chân không giữ cho mẫu vật và các bộ phận khác của SEM không bị nhiễm khí và đảm bảo sự tương tác hiệu quả giữa chùm điện tử và mẫu.

5. Buồng mẫu (Sample Chamber):

   Mẫu vật được đặt trong buồng mẫu, nơi chùm điện tử sẽ quét qua bề mặt của nó. Buồng mẫu có thể được điều chỉnh để thay đổi góc quét hoặc vị trí của mẫu, giúp thu được hình ảnh từ các góc độ khác nhau.

6. Bộ thu tín hiệu (Detectors):

   Bộ thu tín hiệu là nơi thu thập các tín hiệu phát ra từ mẫu vật sau khi bị chùm điện tử quét qua. Có nhiều loại bộ thu tín hiệu khác nhau:

   • Detector điện tử thứ cấp (Secondary Electron Detector): Thu thập điện tử thứ cấp để tạo ra hình ảnh có độ phân giải cao về hình thái bề mặt của mẫu.
   • Detector điện tử tán xạ ngược (Backscattered Electron Detector): Thu thập các điện tử bị phản xạ ngược để phân tích thành phần nguyên tố của mẫu.
   • Detector tia X (X-ray Detector): Sử dụng để thu thập bức xạ tia X đặc trưng, từ đó xác định thành phần hóa học của mẫu vật.

Mỗi bộ phận trong SEM đóng góp một vai trò quan trọng trong việc tạo ra hình ảnh chi tiết và phân tích cấu trúc của mẫu vật, giúp các nhà khoa học và kỹ thuật viên có thể hiểu rõ hơn về các đặc tính vật lý và hóa học của vật liệu.

Khi sử dụng kính hiển vi điện tử quét (SEM), việc phân tích và xử lý hình ảnh là những bước quan trọng giúp giải mã thông tin từ mẫu vật. Dưới đây là các phương pháp chính được áp dụng trong phân tích và xử lý hình ảnh từ SEM:

1. Phân tích bề mặt mẫu vật:

   Hình ảnh thu được từ SEM chủ yếu phản ánh hình thái bề mặt của mẫu vật. Các nhà khoa học có thể đánh giá các đặc điểm như độ nhám, hình dạng và kích thước của các hạt hoặc cấu trúc vi mô trên bề mặt. Việc sử dụng các bộ thu tín hiệu khác nhau, chẳng hạn như điện tử thứ cấp hoặc điện tử tán xạ ngược, cung cấp thông tin chi tiết về bề mặt.

2. Phân tích thành phần nguyên tố:

   SEM có thể được trang bị thêm các bộ phận phân tích như phổ tia X (EDX) để xác định thành phần hóa học của mẫu vật. Khi chùm điện tử tương tác với mẫu, nó gây ra sự phát xạ tia X đặc trưng của các nguyên tố có trong mẫu. Tín hiệu tia X này được thu thập và phân tích để xác định các nguyên tố và hàm lượng của chúng trong mẫu.

3. Kỹ thuật chụp ảnh 3D:

   Để có cái nhìn sâu hơn về cấu trúc của mẫu, SEM có thể chụp ảnh từ nhiều góc độ khác nhau, sau đó sử dụng các phần mềm xử lý hình ảnh để tái tạo mô hình ba chiều (3D). Kỹ thuật này rất hữu ích trong việc phân tích các mẫu có hình thái phức tạp, giúp các nhà nghiên cứu hiểu rõ hơn về cấu trúc không gian của vật liệu.

4. Xử lý và cải thiện chất lượng hình ảnh:

   Hình ảnh từ SEM có thể bị nhiễu hoặc thiếu sắc nét do nhiều yếu tố như môi trường chân không không hoàn hảo hoặc các lỗi trong quá trình quét. Các phần mềm xử lý hình ảnh chuyên dụng có thể được sử dụng để cải thiện độ tương phản, loại bỏ nhiễu và tăng cường chi tiết, giúp hình ảnh trở nên rõ ràng và chính xác hơn.

Nhờ vào các phương pháp phân tích và xử lý hình ảnh tiên tiến này, SEM trở thành một công cụ mạnh mẽ trong việc nghiên cứu và phân tích các đặc tính vật lý và hóa học của mẫu vật, cung cấp thông tin quan trọng cho nhiều lĩnh vực khoa học và công nghiệp.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) có nhiều loại khác nhau, mỗi loại được thiết kế với các tính năng đặc biệt nhằm phục vụ các ứng dụng cụ thể trong nghiên cứu và công nghiệp. Dưới đây là các loại SEM phổ biến và các ứng dụng cụ thể của chúng:

1. Kính hiển vi điện tử quét thông thường (Conventional SEM):

   Đây là loại SEM phổ biến nhất, sử dụng chùm điện tử để quét bề mặt mẫu và tạo ra hình ảnh chi tiết. Ứng dụng chính của loại này là phân tích hình thái bề mặt, đặc biệt trong nghiên cứu vật liệu và công nghiệp điện tử, nơi cần kiểm tra chất lượng bề mặt và các khuyết tật vi mô.

2. Kính hiển vi điện tử quét môi trường (Environmental SEM - ESEM):

   ESEM cho phép quan sát mẫu vật trong điều kiện môi trường ẩm hoặc có áp suất không cao. Điều này đặc biệt hữu ích khi nghiên cứu các mẫu sinh học hoặc vật liệu không thể chịu được môi trường chân không. ESEM được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu sinh học, nông nghiệp và khoa học môi trường.

3. Kính hiển vi điện tử quét lạnh (Cryo-SEM):

   Cryo-SEM là loại SEM sử dụng kỹ thuật đông lạnh để bảo quản cấu trúc của các mẫu vật mềm hoặc có chứa nước. Mẫu vật được làm lạnh nhanh chóng để tránh sự thay đổi cấu trúc do quá trình khử nước. Cryo-SEM được ứng dụng nhiều trong nghiên cứu sinh học và nghiên cứu vật liệu mềm như polymer.

4. Kính hiển vi điện tử quét điện tử phát xạ trường (Field Emission SEM - FESEM):

   FESEM sử dụng nguồn phát điện tử phát xạ trường, cho phép tạo ra chùm điện tử với độ sáng cao và đường kính rất nhỏ. Điều này giúp FESEM đạt được độ phân giải cao hơn nhiều so với SEM thông thường, cho phép quan sát chi tiết cấu trúc nano. FESEM thường được sử dụng trong nghiên cứu khoa học vật liệu, nano và ngành điện tử.

5. Kính hiển vi điện tử quét với phổ tán xạ năng lượng tia X (SEM-EDX):

   SEM kết hợp với phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX) giúp không chỉ quan sát hình thái bề mặt mà còn phân tích thành phần hóa học của mẫu. Loại SEM này rất hữu ích trong ngành hóa học, địa chất và bảo quản di sản, nơi cần xác định các nguyên tố và hợp chất trong mẫu vật.

Mỗi loại SEM có những ứng dụng đặc thù, giúp các nhà nghiên cứu và kỹ thuật viên chọn lựa công cụ phù hợp với mục tiêu nghiên cứu cụ thể, từ đó đạt được kết quả tối ưu nhất trong phân tích và phát triển công nghệ.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một công cụ mạnh mẽ trong nghiên cứu khoa học và công nghiệp, nhưng như bất kỳ thiết bị nào khác, nó cũng có những ưu điểm và hạn chế riêng. Dưới đây là một cái nhìn chi tiết về các ưu điểm và hạn chế của SEM:

• Ưu điểm của SEM:
  1. Độ phân giải cao:

     SEM cho phép quan sát các chi tiết rất nhỏ trên bề mặt mẫu vật với độ phân giải cao, lên đến vài nanomet, điều mà các kính hiển vi quang học không thể đạt được. Điều này rất hữu ích trong nghiên cứu vật liệu và các ngành công nghiệp yêu cầu phân tích chi tiết vi cấu trúc.

  2. Độ sâu trường lớn:

     SEM có độ sâu trường lớn, cho phép quan sát rõ ràng các chi tiết ở nhiều độ sâu khác nhau trên bề mặt mẫu vật. Điều này đặc biệt quan trọng trong việc phân tích các mẫu có hình thái phức tạp.

  3. Khả năng phân tích thành phần hóa học:

     Kết hợp với các kỹ thuật như phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX), SEM có thể phân tích thành phần nguyên tố của mẫu vật. Điều này mở rộng khả năng nghiên cứu từ quan sát hình thái bề mặt sang phân tích cấu trúc hóa học.

  4. Hình ảnh ba chiều (3D):

     SEM có thể chụp ảnh từ nhiều góc độ khác nhau, sau đó tái tạo hình ảnh 3D, giúp hiểu rõ hơn về cấu trúc không gian của mẫu vật.

• Hạn chế của SEM:
  1. Yêu cầu môi trường chân không:

     SEM yêu cầu mẫu vật phải được đặt trong môi trường chân không, điều này có thể gây khó khăn cho việc quan sát các mẫu chứa nước hoặc sinh học. Việc chuẩn bị mẫu cũng cần phải loại bỏ hoặc cố định nước, có thể làm thay đổi cấu trúc tự nhiên của mẫu.

  2. Chi phí cao:

     Các thiết bị SEM và hệ thống hỗ trợ như EDX thường có giá thành cao, cùng với chi phí bảo trì và vận hành đắt đỏ, điều này giới hạn việc sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm nhỏ hoặc tại các quốc gia đang phát triển.

  3. Đòi hỏi kỹ thuật cao:

     Vận hành SEM đòi hỏi kiến thức và kỹ năng chuyên môn cao để có thể điều chỉnh các thông số và xử lý hình ảnh một cách hiệu quả. Người vận hành cần được đào tạo chuyên sâu để khai thác tối đa các tính năng của thiết bị.

  4. Hạn chế về kích thước mẫu:

     Do kích thước của buồng mẫu và yêu cầu môi trường chân không, kích thước mẫu vật bị giới hạn. Các mẫu vật lớn cần phải cắt nhỏ hoặc chế tác để phù hợp với SEM.

Mặc dù có một số hạn chế, SEM vẫn là một công cụ không thể thiếu trong nghiên cứu khoa học và công nghiệp nhờ vào khả năng phân tích và quan sát chi tiết vượt trội của nó. Việc hiểu rõ các ưu điểm và hạn chế của SEM giúp người sử dụng lựa chọn phương pháp phù hợp nhất cho mục tiêu nghiên cứu của mình.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một công cụ quan trọng được ứng dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp và lĩnh vực nghiên cứu. Nhờ vào khả năng cung cấp hình ảnh có độ phân giải cao và phân tích thành phần hóa học, SEM mang lại những lợi ích vượt trội trong nhiều ứng dụng thực tiễn.

• Công nghiệp điện tử và bán dẫn:

  SEM được sử dụng để kiểm tra và phân tích các cấu trúc vi mô trên bề mặt của chip bán dẫn, bảng mạch in (PCB) và các linh kiện điện tử khác. Khả năng phát hiện các khuyết tật nhỏ và phân tích chi tiết vi cấu trúc giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm và phát triển các công nghệ mới.

• Nghiên cứu vật liệu:

  Trong lĩnh vực nghiên cứu vật liệu, SEM là công cụ không thể thiếu để nghiên cứu cấu trúc bề mặt, pha tạp chất, và thành phần hóa học của các vật liệu như kim loại, gốm sứ, và polyme. SEM giúp phân tích các đặc tính cơ học, nhiệt, và điện của vật liệu ở quy mô vi mô và nano.

• Khoa học sinh học và y sinh:

  SEM được ứng dụng để nghiên cứu cấu trúc tế bào, mô và các vi sinh vật. Khả năng tạo hình ảnh chi tiết với độ phân giải cao cho phép các nhà khoa học quan sát các đặc điểm sinh học ở mức vi mô. Điều này rất quan trọng trong việc nghiên cứu các bệnh lý, phát triển thuốc và các ứng dụng y sinh khác.

• Địa chất và khoáng sản:

  SEM được sử dụng để phân tích các mẫu đá, khoáng sản, và đất nhằm xác định cấu trúc tinh thể và thành phần hóa học. Điều này giúp các nhà địa chất hiểu rõ hơn về quá trình hình thành và biến đổi của các khoáng sản, từ đó hỗ trợ trong công tác khai thác tài nguyên và nghiên cứu khoa học địa chất.

• Bảo tồn và phục chế di sản văn hóa:

  Trong lĩnh vực bảo tồn di sản, SEM giúp phân tích các vật liệu cổ như tranh vẽ, gốm sứ, và kim loại để hiểu rõ hơn về thành phần và phương pháp chế tác. Từ đó, các nhà khoa học có thể đề xuất các phương pháp bảo quản và phục chế phù hợp, bảo vệ các giá trị văn hóa cho các thế hệ sau.

• Công nghệ nano:

  SEM đóng vai trò quan trọng trong nghiên cứu và phát triển công nghệ nano, cho phép các nhà khoa học quan sát và chế tác các cấu trúc nano với độ chính xác cao. Điều này mở ra nhiều ứng dụng mới trong y học, điện tử, và năng lượng.

Với những ứng dụng rộng rãi và đa dạng, SEM đã trở thành một công cụ không thể thiếu trong nhiều ngành công nghiệp và lĩnh vực nghiên cứu, góp phần quan trọng vào sự tiến bộ khoa học và công nghệ.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một thiết bị phức tạp yêu cầu sự chú ý cẩn thận trong quá trình sử dụng và bảo dưỡng. Để đảm bảo hiệu suất tối ưu và tuổi thọ dài, dưới đây là hướng dẫn chi tiết về cách sử dụng và bảo dưỡng SEM.

8.1 Hướng dẫn vận hành SEM

1. Chuẩn bị máy: Đảm bảo rằng tất cả các bộ phận của SEM đã được lắp đặt đúng cách và máy đã được kết nối với nguồn điện. Kiểm tra tình trạng của nguồn chân không và hệ thống làm mát trước khi khởi động máy.
2. Chuẩn bị mẫu: Làm sạch và xử lý mẫu để đảm bảo bề mặt không bị ô nhiễm. Đặt mẫu vào giá đỡ mẫu và cố định mẫu chắc chắn để tránh rung lắc trong quá trình quét.
3. Khởi động máy: Bật nguồn điện và khởi động hệ thống chân không. Đợi cho đến khi buồng mẫu đạt được chân không ổn định trước khi đưa mẫu vào buồng.
4. Thiết lập điều kiện quét: Chọn các thông số quét như độ phân giải, độ sâu tiêu cự và cường độ chùm điện tử. Điều chỉnh các thông số này dựa trên yêu cầu của thí nghiệm và loại mẫu.
5. Quan sát và chụp ảnh: Sau khi thiết lập, quan sát hình ảnh và điều chỉnh các thông số quét để có được hình ảnh rõ nét nhất. Sử dụng phần mềm điều khiển để chụp và lưu trữ hình ảnh.

8.2 Bảo dưỡng và hiệu chuẩn định kỳ

• Kiểm tra định kỳ: Thực hiện kiểm tra định kỳ các bộ phận của SEM, bao gồm súng phát điện tử, hệ thống thấu kính, và buồng mẫu. Đảm bảo rằng các bộ phận này hoạt động bình thường và không có dấu hiệu hư hỏng.
• Thay thế bộ lọc và phụ kiện: Thay thế các bộ lọc khí và các phụ kiện khi cần thiết để đảm bảo hệ thống chân không hoạt động hiệu quả. Theo dõi các thành phần tiêu hao và thay thế chúng định kỳ.
• Hiệu chuẩn: Định kỳ hiệu chuẩn máy để đảm bảo độ chính xác của hình ảnh và dữ liệu thu được. Sử dụng các mẫu chuẩn để kiểm tra và điều chỉnh các thông số của máy.

8.3 Các lỗi thường gặp và cách khắc phục